[发明专利]微桥结构有效
| 申请号： | 200410002924.1 | 申请日： | 2000-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN1558193A | 公开（公告）日： | 2004-12-29 |
| 发明（设计）人： | J·P·吉尔哈姆;R·瓦顿;J·C·阿尔德曼 | 申请（专利权）人： | 秦内蒂克有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/22 | 分类号： | G01J5/22;G01J5/02;H01L31/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明;梁永 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种加工微桥结构(14，16)于衬底(20)上的方法。该方法包括以下步骤：设置牺牲材料(32)于衬底(20)的表面区域；形成图案的方式刻蚀牺牲材料(32)；设置传感材料(34)于牺牲材料的表面区域；设置支撑材料(36)于传感材料的表面区域；以及去除牺牲材料(32)留下支撑材料(36)及传感材料(34)于其下表面上，基本上独立于衬底(20)之上。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 | ||
【主权项】：
1.一种测热辐射计，该测热辐射计包括一个拥有衬底(20)的微桥结构(14，16)，在所述衬底上设有支撑元件(16)，在所述支撑元件(16)的下边设置电阻性传感材料(14)，所述传感材料(14)的电阻随入射辐射而发生变化；该传感材料(14)被支撑元件(16)支撑在衬底(20)之上，并且在连接区与衬底上的轨道相连接；所述支撑元件(16)基本上包括一个单层材料，其特征在于，把支撑材料(16)布置成吸收入射的辐射。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于秦内蒂克有限公司，未经秦内蒂克有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410002924.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：合成肝素五糖
- 下一篇：运行等时的周期性通信系统的方法
