[发明专利]用于供应高纯度流体的系统和方法无效
| 申请号： | 200380109982.8 | 申请日： | 2003-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN1753720A | 公开（公告）日： | 2006-03-29 |
| 发明（设计）人： | 渡辺忠治;罗伯特·小托里斯;约瑟夫·V·维尼斯基 | 申请（专利权）人： | 马西森三气公司 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种包括岐管和提纯单元的流体装置，所述岐管包括第一分支和第二分支，第一单向阀连接至岐管的第一分支；并且所述提纯单元包括第一和第二端部，其中第一端部连接至岐管的第二分支。还有，一种包括罐和可破坏密封的流体提纯装置，罐包括容纳提纯材料的第一内侧容室和容纳含有杂质的流体的第二内侧容室，其中由可渗透流体的支承将第一内侧容室和第二内侧容室隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 供应 纯度 流体 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种流体提纯装置，其包括：包括第一内侧容室和第二内侧容室的罐，其中，可渗透流体的支承将第一内侧容室和第二内侧容室隔开，所述第一内侧容室可容纳提纯材料，所述第二内侧容室可容纳包含杂质的流体。
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