[发明专利]照射层上斑点的方法和装置

摘要

为照射一个层，照射束引导并聚焦到该层上的斑点，使该层相对于光学元件作相对运动，使得层各不同部分相继被照射，并保持该层和最接近该层的光学元件的表面之间的间隙。另外，照射束通过并照射该层上斑点的至少一部分间隙被液体充满，液体由一供应管道提供，并经过平行于该层的平面内一总的投影横截面通道区从流出口流出。该流出口或许多流出口的位置选成使当从垂直该层的方向看过去时，总的横截面区域的中心处在照射束通过并照射该斑点的那部分间隙内。

主权项

1.一种照射一层的方法，包括：通过至少一个光学元件把照射束引导和聚焦到该层的斑点上；让该层相对于所述至少一个光学元件作相对运动，使该层各不同部分相继被照射，并且维持最接近该层的该至少一个光学元件的表面与该层之间的间隙；保持照射该层上的斑点的照射束通过的一部分间隙充满液体，该液体由一供应管道提供并从流出口流出；该方法的特征在于：所述至少一个让液体流出的流出口以对该层敞开的至少一个沟槽的形式设置，所述沟槽沿它纵向分配所提供的液体并将分配的液体散开到该层上。