[发明专利]用于接触检验对象的装置及方法有效
| 申请号： | 200380103561.4 | 申请日： | 2003-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN1714298A | 公开（公告）日： | 2005-12-28 |
| 发明（设计）人： | 马蒂亚斯·布伦纳 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/305 | 分类号： | G01R31/305;G01R31/28;G09G3/00;G01R31/302;G01R1/073 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 德国伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及定位基底(140)以及为了用具有光轴或相应设备的检验装置检验而接触检验对象(301)的方法。从而，基底被放置在支撑台(130)上。相对于光轴定位基底。接触单元(150)也相对于光轴被定位，其中接触单元的定位与基底的定位操作无关。因此可以实现基底上检验对象的灵活接触。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 接触 检验 对象 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、用于定位基底以及接触检验对象的方法，包括如下步骤：a)将具有至少一个检验对象的基底放置在支撑台上；b)用定位操作相对于检验装置的光轴定位所述基底；c)相对于所述光轴定位所述接触单元，借以使所述接触单元的定位与所述基底的定位操作无关；d)用所述接触单元接触所述检验对象的至少一个接触组件。
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