[发明专利]基板重合密封方法有效
| 申请号： | 200380100016.X | 申请日： | 2003-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN1692388A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | 竹节宪之;古闲泰行;大岛秀树;稻叶亮一 | 申请（专利权）人： | 信越工程株式会社 |
| 主分类号： | G09F9/30 | 分类号： | G09F9/30;G02F1/13;G02F1/1339;H05B33/14;H01J9/26;H01J11/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 与根据静电吸附机构(5b)进行的对上侧基板(A)的保持解除联动，使气体(G)从该上侧基板的背面侧喷出，通过将该气体强制注入上方保持板(1)的静电吸附面(5b1)和上侧基板的背面之间，破坏这些静电吸附面和基板面的紧密结合状态，通过使两者剥离，强制性衰减，消灭两者间的静电吸附力，同时，通过所注入气体的压力，强制性地使向下侧基板(B)的下落力，即落下的加速度产生作用，据此，瞬时地使该上侧基板压接到下侧基板上，上侧基板以被静电吸附机构(5b)保持的状态，姿势无变化地移动压接到下侧基板上，密封重叠上下基板。因此，可以强制性地使上侧基板在位置对合的状态下下落，而与静电吸附力的解除不稳定无关。 | ||
| 搜索关键词： | 重合 密封 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板重合密封方法，是通过静电吸附机构(5b)可自由拆装地将上侧基板(A)保持在上方保持板(1)上，可自由拆装地将与该上侧基板(A)相对的下侧基板(B)保持在下方保持板(2)上，进行这些上下基板(A、B)彼此之间的位置对合，在其周围成为所期望的真空度时，解除根据静电吸附机构(5b)进行的对上侧基板(A)的保持，使上侧基板(A)重合在下侧基板(B)上，进行密封，其特征在于，与根据上述静电吸附机构(5b)进行的对上侧基板(A)的保持解除联动，使气体(G)从该上侧基板(A)的背面侧喷出，通过该气体(G)的压力强制性地将上侧基板(A)从上方保持板(1)的静电吸附面(5b1)剥离，瞬时地向下侧基板(B)上压接密封，进行重合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信越工程株式会社，未经信越工程株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200380100016.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
