[实用新型]一种微细光束紫外光源

摘要

本实用新型微细光束的紫外光源，特征是从设置于球面全反射镜1球心的高压汞灯2发出的光与反射镜反射的光一起，经隔热平镜3和带通滤色镜4后，得到峰值波长的365纳米的紫外光束，至平凸透镜5和6会聚为较小的光斑，再通过兼作光阑的磁电式可控光闸7和耦合透镜8和9，将紫外光束传导至石英光纤10，从光纤10出射的光再经光阑11传输到显微物镜12，则在显微物镜12的焦面上可获得微米级紫外光束；可利用计算机控制磁电式可控光闸。本实用新型不仅结构简单，还实现了任意扫描的可选择性曝光。

主权项

1、一种微细光束的紫外光源，将高压汞灯(2)设置在一半径为50-80mm的球面全反射镜(1)的球心，并以高压汞灯(2)的发光中心高度为水平光轴，其特征在于：在光轴上高压汞灯(2)的前方50-80mm处设置一隔热平镜(3)，在隔热平镜(3)前方10-20mm处放置一带通滤色镜(4)，再将由两曲面相对放置的一对平凸透镜(5)和(6)组成的聚光部件安放在滤色镜的前方且距离汞灯90-120mm处，该平凸透镜(5)和(6)之间的间隙为2-5mm在平凸透镜(5)和(6)聚光部件的光束会聚处设置一兼作光阑的磁电式可控光闸(7)，该光闸(7)是一在电磁线圈的铁芯上垂直向上粘接一硅片，该硅片上开有一直径为0.6-1.0mm的通孔，将该通孔与光轴同轴放置；电磁线圈的两端与计算机并口相接；光闸(7)前方10-20mm处再安放一对两曲面相对放置的平凸形耦合透镜(8)和(9)，该两平凸形耦合透镜(8)和(9)之间的间隙为3-5mm；用于传导光束的石英光纤(10)其数值孔径为0.25-0.40、纤芯直径为0.4-0.7mm、长度为1.0-2.0m，该石英光纤(10)的入射端设置在耦合透镜(9)的焦点位置，出射端放置一直径为0.05-0.5mm的光阑(11)，在该光阑(11)的前方153.0mm处放置一个数值孔径为0.2-0.65的显微物镜(12)，则在显微物镜(12)的焦面(13)上可获得微米级紫外光束。