[实用新型]真空用磁流体密封传动送片机构无效
| 申请号： | 200320120387.1 | 申请日： | 2003-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN2666926Y | 公开（公告）日： | 2004-12-29 |
| 发明（设计）人： | 徐晓斌;刘晓萌 | 申请（专利权）人： | 徐晓斌;刘晓萌 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利事务所 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214072江苏省无锡市蠡园经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜设备，具体地说是一种用于真空镀膜设备上的传动装置。按照本实用新型所提供的设计方案，在支架上安装磁流体真空密封件，在磁流体真空密封件的下部安装连接板，以及一个导轨输送机构、一个导轨换向机构与直线运动机构，其特征是：在导轨换向机构中，大轴安装于磁流体真空密封件内，在连接板上利用轴承安装转动轴，在转动轴的上端安装棘轮与棘轮板，下端安装大齿轮，棘轮与棘爪配合，棘爪安装于棘轮板上，棘轮板与手柄连接，大齿轮与安装于大轴下端的齿轮啮合，大轴的上端与直线导轨连接。本装置可以提高设备的运行稳定性，并简化结构，缩小所占的空间。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 流体 密封 传动 机构 | ||
【主权项】：
1、真空用磁流体密封传动送片机构，在支架(49)上安装磁流体真空密封件(32)，在磁流体真空密封件(32)的下部安装连接板(23)，以及一个导轨输送机构、一个导轨换向机构与直线运动机构，其特征是：在导轨换向机构中，大轴(48)安装于磁流体真空密封件(32)内，在连接板(23)上利用轴承安装转动轴(29)，在转动轴(29)的上端安装棘轮(27)，下端安装大齿轮(34)，棘轮(27)与棘爪(24)配合，大齿轮(34)与安装于大轴(48)下端的齿轮(37)啮合，大轴(48)的上端与直线导轨(45)连接。
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