[实用新型]高温反应烧结炉无效
| 申请号： | 200320103509.6 | 申请日： | 2003-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN2674295Y | 公开（公告）日： | 2005-01-26 |
| 发明（设计）人： | 谢晶 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F23B7/00 | 分类号： | F23B7/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高温反应烧结炉，尤其涉及一种半导体、冶金及其它行业的热处理真空工艺处理中应用的高温反应烧结炉。其结构由炉体、反应室、送料装置与旋转装置和废气处理装置组成；本实用新型所述的高温反应烧结炉，在原有炉体结构中增加了反应室，反应室位于炉体内部，与炉腔分开；可以节约工艺气体，不会在炉壁上产生结晶，影响高温烧结炉的性能。在送料装置上增加了旋转装置，使工件在处理过程中持续旋转，让工件受热均匀，与工艺气体接触均匀，提高产品质量。又增加了废气处理装置，对产生的废气进行处理，减少对环境制成的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 反应 烧结炉 | ||
【主权项】：
1、一种高温反应烧结炉，其特征在于由炉体、反应室与送料装置组成；反应室位于炉体内部，送料装置位于反应室在炉体上的开口处外端。
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