[发明专利]用于精研玻璃基板的玻璃研磨设备及玻璃研磨方法无效
申请号: | 200310100582.2 | 申请日: | 2003-10-20 |
公开(公告)号: | CN1608800A | 公开(公告)日: | 2005-04-27 |
发明(设计)人: | 叶智斌;叶健生;蔡献逸 | 申请(专利权)人: | 碧悠国际光电股份有限公司 |
主分类号: | B24B37/04 | 分类号: | B24B37/04;B24B29/02 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐乐慧 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于精研玻璃基板的玻璃研磨设备及玻璃研磨方法,其中玻璃研磨设备包含一用于放置玻璃基板的玻璃研磨盘,该玻璃研磨盘与玻璃基板接触的表面设置有复数个导流沟;一用于提供玻璃研磨盘旋转动力的运转装置;一用于供应研磨剂至玻璃研磨盘与玻璃基板接触表面的研磨剂供应装置;一用于挟持玻璃基板并置于玻璃研磨盘上的辅助研磨装置,使玻璃基板待精研的表面与玻璃研磨盘接触。其中,藉由运转装置带动玻璃研磨盘旋转,并藉由旋转的玻璃研磨盘带动辅助研磨装置旋转,使玻璃研磨盘以及研磨剂得以精研玻璃基板。 | ||
搜索关键词: | 用于 玻璃 研磨 设备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于精研玻璃基板的玻璃研磨设备,其特征在于其包含:一玻璃研磨盘,该玻璃研磨盘用于放置玻璃基板;一运转装置,用于提供玻璃研磨盘旋转的动力;一研磨剂供应装置,用于供应一研磨剂至玻璃研磨盘与玻璃基板的接触表面;以及一辅助研磨装置,用于挟持玻璃基板并放置于玻璃研磨盘之上,使玻璃基板待精研的表面与玻璃研磨盘接触;其中,藉由运转装置带动玻璃研磨盘旋转,并藉由旋转的玻璃研磨盘带动辅助研磨装置旋转,使玻璃研磨盘以及研磨剂得以精研玻璃基板。
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