[发明专利]光记录介质的反射层形成用的银合金溅射靶有效
申请号: | 03826455.2 | 申请日: | 2003-05-16 |
公开(公告)号: | CN1771547A | 公开(公告)日: | 2006-05-10 |
发明(设计)人: | 三岛昭史;藤田悟史;小路雅弘 | 申请(专利权)人: | 三菱麻铁里亚尔株式会社 |
主分类号: | G11B7/26 | 分类号: | G11B7/26;G11B7/24;C23C14/34 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 刘建 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供的银合金溅射靶由以下银合金构成,(1)含有Zn:0.1~20质量%、Al:0.1~3质量%,剩余部为Ag的组成的银合金,(2)含有Zn:0.1~20质量%、Al:0.1~3质量%,还含有Ca、Be、Si中任选一种或两种以上的合计:0.005~0.05质量%,剩余部为Ag的组成的银合金,或者,(3)含有Cu:0.5~5质量%、Ni:0.05~2质量%,剩余部为Ag的组成的银合金。 | ||
搜索关键词: | 记录 介质 反射层 形成 合金 溅射 | ||
【主权项】:
1.一种银合金溅射靶,用于形成光记录介质的全反射层以及半透明反射层,以下,包含两者总称为反射层,其特征在于,由具有Zn:0.1~20质量%、Al:0.1~3质量%,剩余部为Ag的组成的银合金构成。
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