[发明专利]使用扫描探针技术局部高分辨率的质谱仪表征表面的方法无效
| 申请号： | 03822735.5 | 申请日： | 2003-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN1685195A | 公开（公告）日： | 2005-10-19 |
| 发明（设计）人： | 德特利夫·克内布尔;马赛厄斯·阿姆赖因 | 申请（专利权）人： | JPK仪器股份公司 |
| 主分类号： | G01B7/34 | 分类号： | G01B7/34;G12B21/00;G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元;赵仁临 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种组合方法，其中使用扫描强力显微镜记录样品表面的高分辨率再现，并用质谱测量样品表面的局部高分辨的化学属性(所述属性与再现相关)。在有限的表面区域的激光解吸之后，进行表面的化学分析。为实现此解吸，根据光学近场原理在每个相关的点以脉冲形式照明表面。光学近场原理确保以没有衍射限制的局部解析的分析。所用的测量探针的中空触点可使得对所选的表面区域具有唯一的化学分析配置。高度对称排列使得产生的分子离子良好传输。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 扫描 探针 技术 局部 高分辨率 质谱仪 表征 表面 方法 | ||
【主权项】：
1.一种扫描显微装置，特别是扫描强力显微镜装置，其包括限定近场的测量探针，并具有令测量探针可以相对于样品以全部三个空间方向移动的扫描单元，结合具有离子化单元的质谱、吸取单元和分析单元，其特征在于测量探针具有中空的触点，使得可以由离子化单元以仅在测量探针近场中形成离子的方式使用测量探针的近场，并且测量探针的形状可以使吸取单元以相对于分析单元的轴具有基本上轴对称的电场分布。
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