[发明专利]采用电热驱动的弯曲横梁双稳态微机电开关无效
| 申请号： | 03819285.3 | 申请日： | 2003-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN1675728A | 公开（公告）日： | 2005-09-28 |
| 发明（设计）人： | Q·马 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | H01H61/00 | 分类号： | H01H61/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘红;王忠忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种微机电系统(MEMS)，其包括第一电热驱动器，第二电热驱动器以及具有第一侧和第二侧的横梁。当电流从所述第一电热驱动器流过时，第一电热驱动器向横梁的第一侧施加一作用力，以及当电流从所述第二电热驱动器流过时，第二电热驱动器向横梁的第二侧施加一作用力。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 电热 驱动 弯曲 横梁 双稳态 微机 开关 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(MEMS)开关，包括：具有第一侧和第二侧的横梁；第一电热驱动器，当电流从所述第一电热驱动器流过时其向横梁的第一侧施加一作用力；以及第二电热驱动器，当电流从所述第二电热驱动器流过时其向横梁的第二侧施加一作用力。
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