[发明专利]蒸发器输送安瓿有效
| 申请号： | 03817716.1 | 申请日： | 2003-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN1671466A | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | 约翰·格雷格;斯科特·巴特勒;杰弗里·I·邦东;多恩·纳伊托;玛丽安娜·富耶雷尔 | 申请（专利权）人： | 高级技术材料公司 |
| 主分类号： | B01F3/04 | 分类号： | B01F3/04;C23C16/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 郭国清;樊卫民 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开一种半导体制造过程中所用的蒸发器输送系统(10)，其包括用于容纳可蒸发的源材料的多个垂直堆叠的容器(22)。每个垂直堆叠的容器包括延伸进入每个堆叠容器(22)内部(27)中的多个通风突起物(30)，从而提供用于使载气在相邻的垂直堆叠容器(22)之间通过的通道。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发器 输送 安瓿 | ||
【主权项】：
1.一种用于蒸发和输送源材料的蒸气输送系统，其包括：a)安瓿，其包括安瓿底部、侧壁和可拆卸的顶部，以形成内部安瓿室；b)与所述安瓿连通的气体进口和气体出口；c)位于所述内部安瓿室中的至少一个源材料容器，其中所述容器包括容器底部和侧壁，以形成容器腔；及d)至少位于容器底部上的多个通风突起物，以提供通过其中的通道，其中所述通风突起物延伸进入所述容器腔。
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