[发明专利]用于表面声波切换的微型机电装置和方法有效
申请号: | 03816856.1 | 申请日: | 2003-07-11 |
公开(公告)号: | CN1669219A | 公开(公告)日: | 2005-09-14 |
发明(设计)人: | Q·马;D·史姆 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 李家麟 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 揭示了用于表面声波(SAW)切换的微型机电系统(MEMS)装置和方法。该装置包括具有隔开的输入和输出SAW变换器的压电基板。MEMS开关设置于输入和输出SAW变换器之间。MEMS开关具有与基板之上或上方形成的一个或多个致动电极电磁连通的可变形部件。该可变形部件可变形以机械地接触基板以偏移或吸收由输入SAW变换器产生的SAW。 | ||
搜索关键词: | 用于 表面 声波 切换 微型 机电 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种装置,其特征在于,包括:压电基板,它具有隔开的输入和输出表面声波(SAW)变换器;以及微型机电系统(MEMS)开关,它设置于输入和输出SAW变换器之间,MEMS开关具有可变形部件,它可变形以机械地接触基板以改变由输入SAW变换器产生的SAW。
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