[发明专利]改进的用于静电晶片夹紧装置的压盘有效
| 申请号： | 03815047.6 | 申请日： | 2003-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN1663105A | 公开（公告）日： | 2005-08-31 |
| 发明（设计）人： | H·亚那吉答;H·马初巴拉;Y·奥库哈拉;S·奥基;N·卡瓦斯马;B·T·维廉姆斯;T·油哈拉 | 申请（专利权）人： | 特瑞克股份有限公司 |
| 主分类号： | H02N13/00 | 分类号： | H02N13/00;H01L21/31 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 张民华 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种用于静电的晶片夹紧装置(10)中的压盘(12)，其包括一介电材料的压盘体(12)和扩散在介电材料内的导电材料的颗粒，以使压盘(12)因导电颗粒的扩散而具有相当大的静电电容。这导致不管周围湿度如何，压盘(12)具有一增加了的夹紧力。根据本发明的另一方面，压盘体(12)的厚度可减小一定量，以致在从电压源(28)施加的电压降低的情形下足以保持一恒定的夹紧力，以便消除压盘上任何的残余电压并提高晶片(38)释放的速度。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 用于 静电 晶片 夹紧 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于静电的晶片夹紧装置中的压盘包括：a)一介电材料的压盘体；以及b)扩散在介电材料内的导电材料的颗粒，其含量为压盘体的体积的约2.5％至15.0％。
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