[发明专利]超声薄膜换能器无效
| 申请号： | 03809931.4 | 申请日： | 2003-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN1649678A | 公开（公告）日： | 2005-08-03 |
| 发明（设计）人： | J·D·弗拉塞;M·K·克里;G·施米茨 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;H01L41/08;H04R17/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明;张志醒 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及用于微制作的薄膜超声换能器的结构，以及制造此结构的方法。在一个实施方案中，换能器包括具有压电材料的平坦部件，和设置在平坦部件上且耦合到压电材料的间隔开的电极，用来将电场施加到此层，以及连接到电极的吸声背衬部件。在另一实施方案中，换能器包括具有邻接半导体材料的压电材料的平坦部件，此半导体材料具有单片地形成在层中且耦合到压电材料的有源电路。在另一个实施方案中，换能器包括具有压电材料的平坦部件，以及具有单片形成的有源电路的半导体材料邻接层的吸声背衬部件，此有源电路被耦合到电极。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 薄膜 换能器 | ||
【主权项】：
1.一种微制作的超声薄膜换能器，包含：其中形成有一层压电材料280的平坦部件21；设置在平坦部件21表面上、且耦合到压电材料层280的多个间隔开的电极24、25，用来将电场29施加到此层以便弯曲平坦部件21的所选部分27；以及固定地连接到多个电极24、25的吸声背衬部件200。
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