[发明专利]将基片传递给用于盘形基片的薄膜形成装置的方法、基片传递机构和该方法中使用的掩模 ,以及使用该方法的盘形记录媒体制造方法

摘要

本发明提供一种基片传递方法，其包括在空气中保持没有中心孔的盘形基片或类似物，并将该基片容易地传递给溅射装置的步骤。在该盘形基片的每个表面的中心区域内形成一突起部，并且该基片通过基片固定装置与一掩模形成一个整体并被输送。此外，在传递机构中，通过用磁力保持该掩模和用一基片保持装置夹紧位于基片前表面上的突起部而保持该基片和掩模。在要将基片传递至其上的基片托架中，同时用磁力保持掩模和夹持位于基片后表面上的突起部，并且在传递期间，基本上同时减少传递机构中的磁力和释放对该突起部的夹紧。

主权项

1.一种基片传递方法，该方法将一盘形基片与一覆盖所述基片的外周向部分的掩模一起传递给一基片托架，所述基片在其前表面的中心具有第一突起部并在其后表面的中心具有第二突起部，该方法包括：预先利用磁力将所述掩模的前表面固定并保持在一输送臂的一基片保持表面上，并通过设置在所述基片保持表面的中心部分内的该臂中的基片保持装置保持所述第一突起部；使所述基片托架与保持所述掩模和所述基片的所述输送臂的基片保持表面相对；将所述第二突起部插入一形成在所述基片托架的中心处的凹部中，并通过设置在所述凹部中的该托架中的基片保持装置将所述基片固定在所述基片托架上；减少从所述输送臂作用于所述掩模的磁力，并释放该臂中的所述基片保持装置对所述第一突起部的保持；以及利用从所述基片托架产生的磁力将所述掩模的后表面固定并保持在所述基片托架上。