[发明专利]涂覆高强度放电灯的石英喷燃器的方法无效
| 申请号： | 03803133.7 | 申请日： | 2003-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN1625535A | 公开（公告）日： | 2005-06-08 |
| 发明（设计）人： | W·莫尔;L·贝维格;T·屈珀;W·马林;C·莫勒 | 申请（专利权）人： | 肖特股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/34 | 分类号： | C03C17/34;H01J61/35 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王景朝;马崇德 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 为提高HID灯的能量平衡，本发明为其石英喷燃器，优选在其内侧提供具有UV反射层体系的涂层，借助于PICVD方法在高功率密度和100－400℃的高基底温度下交替地涂覆由至少呈通常化学计量为TiOy和SiOx的氧化钛和氧化硅构成的非晶薄层，涂覆中采用1nm/sec－100nm/sec的小生长速率以形成厚度为小于1200nm和有最少UV活性缺陷数的干涉层体系，该缺陷率为0.1－1％。 | ||
| 搜索关键词： | 涂覆高 强度 电灯 石英 喷燃器 方法 | ||
【主权项】：
1.一种以UV反射层体系涂覆HID灯的石英喷燃器的方法，该方法借助于PICVD方法在高功率密度和100-400℃的高基底温度下交替地涂覆由至少呈通常化学计量为TiOy和SiOx的氧化钛和氧化硅构成的非晶薄层，涂覆中采用1nm/sec-100nm/sec的小生长速率以形成厚度为小于1200nm和有最少UV活性缺陷率的干涉层体系。
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