[实用新型]一种气体质流控制器的转换装置无效
| 申请号： | 03248957.9 | 申请日： | 2003-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN2665770Y | 公开（公告）日： | 2004-12-22 |
| 发明（设计）人： | 童拱照 | 申请（专利权）人： | 亚泰半导体设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种气体质流控制器的转换装置，包括马达、一第一可变电阻器和第二可变电阻器，一质流控制器，该转换装置内部的马达与气体质流控制系统相连接，该马达与两个可变电阻器连动，该第二可变电阻器再与质流控制器相连接。本实用新型的特点在于转换装置具有伺服控制功能，在气体流量控制系统零件汰旧换新之际取代原有流量控制器，避免系统大幅更新，省下一笔可观的设备费用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 体质 控制器 转换 装置 | ||
【主权项】：
1.一种气体质流控制器的转换装置，其特征在于：所述转换装置，其内部具有一马达(5)及一第一可变电阻器(6)以及一第二可变电阻器(7)，该马达(5)的最大控制电压为10V；一质流控制器(12)，其最大控制电压为5V，该转换装置内部的马达(5)与气体质流控制系统相连接，该马达(5)与两个可变电阻器连动，该第二可变电阻器(7)再与质流控制器(12)相连接。
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