[实用新型]高真空双头排气机

摘要

高真空双头排气机由机架、快速锁头组件，夹具组件、气路系统、管道系统、抽气系统、电气系统及燃气系统等组成，快速锁头组件直接锁紧在夹具组件底端面，它由设于同一阀体上的灯管排气管锁紧装置和开关装置组成；两装置通过开关装置中的手控密封圈的闭合来实现排气管的导通和关闭；夹具组件则由安装在支板上的提升机构和灯管排气管密封锁紧机构组成，两者之间通过设于支板上的一拐形锁紧支架及与之相配合的气缸、横支板、锁紧支板、左支板、右支板以及若干个销轴与设于夹具体内的垫圈、密封套、平垫组成受气缸和手把联动控制的提升和灯管排气密封锁紧机构；并且又在设于机架面板上、下的液氮冷却系统及置有与管道系统呈直接水平连接的分子泵组成本实用新型主体。

主权项

1、一种高真空双头排气机，由机架(1)、快速锁头组件(3)、夹具组件(4)、气路系统(5)、管道系统(6)、抽气系统(7)、电气系统(8)及燃气系统组成，其特征在于：A、所述的快速锁头组件(3)直接锁紧在夹具组件(4)底端面，它由设于同一阀体(14)上的灯管排气管锁紧装置和开关装置组成；其中所述的灯管排气管锁紧装置由设于阀体(14)下部内、外腔中的隔套(15)，密封套(13)，端压轴承(12)及锁紧螺母(10)组成，其中隔套(15)、密封套(13)、端压轴承(12)依次置于以排气管(23)为中心的腔体内，并由阀体(14)下部的锁紧螺母(10)将上述构件旋压在阀腔内；所述的开关装置则由设于阀体(14)上部一侧经一侧置压套(17)连接的开关组件组成，所述压套(17)侧底部设一封堵阀体(14)侧向导气孔的密封圈(16)，该密封圈(16)通过一连接件与一水平向设置且能位移的滑轴(20)相连，该滑轴(20)与压套(17)之间设置一压缩拉伸压簧(18)，滑轴(20)的另一端则通过一销轴(21)与操纵该滑轴(20)的拨动手柄(22)相连；B、所述的夹具组件(4)由安装在支板(47)上的提升机构和灯管排气管密封锁紧机构组成；所述的提升机构主要由气缸(45)、气缸支板(46)、气缸支架(44)、锁紧支板(49)、锁紧支架(50)、升降套(51)、销(52)、横支板(53)、左支板(54)、销轴III(55)、手把(56)、销轴II(57)、右支板(58)、销轴I(59)及支板(47)组成，所述的锁紧支架(50)呈拐形，其拐点处通过销轴I(59)与支板(47)相连，同时该锁紧支架(50)的一端设有手把(56)，其另一端则通过销轴III与处于同一轴上的锁紧支板(49)，左、右支板(54、58)相连；并又通过左、右支板上的横支板(53)与气缸(45)间相连，通过锁紧支板(49)下端的销轴II(57)与升降套(51)相连，从而组成以气缸内活塞为推力的联动升降机构；所述的灯管排气密封锁紧机构由置于夹具组件底部的夹具体(48)及设于夹具体内腔的垫圈(60)，密封套(61)，平垫(62)组成，其中所述的垫圈(60)为中间置有不锈钢丝网夹层的组合件，它安置在夹具体内腔的顶端，以下依次为密封套(61)和平垫(62)，其外套置着设有销轴II(57)的升降套(51)；C、所述的管道系统(6)中设置着与其直接水平连接的分子泵(33)：D、所述的液氮冷却系统(2)由置于机架台面板(43)上下的液氮杯(42)、气缸(39)及滑块(40)、顶杆(41)组成，气缸(39)的可伸缩活塞杆通过与其相接的滑块(40)与驱动液氮杯(42)的顶杆(41)相连。