[实用新型]用于有机电致发光镀膜机的坩锅式蒸发源无效
| 申请号： | 03212003.6 | 申请日： | 2003-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN2606115Y | 公开（公告）日： | 2004-03-10 |
| 发明（设计）人： | 侯晶莹;刘立宁;赵毅;李传南;高强;高文宝;程刚;刘式墉 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/26 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张景林 |
| 地址： | 130023吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种应用于有机电致发光镀膜机的坩锅式蒸发源。坩锅式蒸发源由支座、热电偶测温系统、加热体炉子及坩锅组成。炉子由上、下两个95#陶瓷圆环片(9)、金属钼炉丝(8)、位于上下两个陶瓷圆环片(9)间的筒状石英玻璃内屏蔽层(7)和筒状不锈钢外屏蔽层(6)组成，炉丝(8)上下回绕、通过另一小陶瓷圆环(12)嵌于两个陶瓷圆环片(9)内；上下两个95#陶瓷圆环片(9)用3个钼螺丝杆(5)连接在一起，炉体可以稳固地放置在陶瓷绝缘支座(4)上。该蒸发源具有寿命长、终年不需更换和维护、控温性能优越、蒸发速率稳定、保温性能好、同一真空室的各个蒸发源之间不互相污染、操作方便等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 有机 电致发光 镀膜 坩锅式 蒸发 | ||
【主权项】：
1、一种用于有机电致发光镀膜机的坩锅式蒸发源，由支座、热电偶、加热体炉子及坩锅四部分组成，其特征在于：①支座由不锈钢底座(1)和陶瓷绝缘支座(4)两部分组成，陶瓷绝缘支座(4)通过压环(2)与不锈钢底座(1)连接在一起；②热电偶(3)穿过陶瓷绝缘支座(4)进入炉膛，紧靠在坩锅(10)的底部；③加热体炉子由上、下两个95#陶瓷圆环片(9)、金属钼炉丝(8)、位于上下两个陶瓷圆环片(9)间的筒状石英玻璃内屏蔽层(7)和筒状不锈钢外屏蔽层(6)组成，炉丝(8)上下回绕、通过另一小陶瓷圆环(12)嵌于两个陶瓷圆环片(9)内，上下两个95#陶瓷圆环片(9)用3个钼螺丝(5)连接在一起，炉体可以稳固地放置在陶瓷绝缘支座(4)上；④坩锅(10)可使用石英坩锅、BN坩锅、钼坩锅或陶瓷坩锅，坩锅(10)具有一定的边缘；⑤炉丝(8)的两端连在灯丝接线柱(11)上，灯丝接线柱(11)用陶瓷圆环片(9)作绝缘引出。
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