[发明专利]滑动缝隙式热处理装置

摘要

提供一种滑动缝隙式热处理装置，该热处理装置(1)，是以固定设在热处理室(2)内的支撑体支撑多层LCD玻璃基板等工件(W)、并从开口面(1a)逐个取放进行热处理的装置，其中作为多层在本例中为31层，其包括具有41₁～41₆的6个缝隙(41)的遮蔽板(4)、分成6扇设置而可开闭各自的缝隙的小门(5)、遮蔽板的升降机构(6)、及小门的开闭机构(7)。这种滑动缝隙式热处理装置，通过例如仅打开与取放工件W的缝隙41₆相对应的小门5₆并封闭其他的5₁～5₅，而能够一边防止热处理室(2)的热气泄漏一边取放工件。因为缝隙仅升降工件5层份，所以热处理装置的高度不会变高。

主权项

1.一种热处理装置，以设在热处理室内的支撑装置支撑多层平板状的被处理物、并从所述热处理室的开口部逐个取放所述被处理物进行热处理，其特征在于：所述支撑装置被设成保持在一定位置，所述多层由多个层组成的多组构成，包括：以堵塞所述开口部的方式设置的可进行升降的缝隙部件，其具有由与所述多组相对应的多个构成、可取放所述被处理物的缝隙；在所述开口的相对该缝隙部件的外侧与所述缝隙部件相对向地设置、并与所述多组相对应的多扇小门，其以分别可开闭相对应的缝隙并在封闭时从所述外侧包围所述开口部地形成；可升降所述缝隙部件、以使所述多个缝隙可停止在所述多层的各层位置的升降机构；以及可分别开闭所述多扇小门的开闭机构。