[发明专利]空气过滤装置有效
| 申请号： | 03158528.0 | 申请日： | 2003-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN1517143A | 公开（公告）日： | 2004-08-04 |
| 发明（设计）人： | 曾国邦 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D47/06 | 分类号： | B01D47/06 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤;楼仙英 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种空气过滤装置，其与一外部供水装置及一空气管路连接，以过滤所通过的气体内的悬浮微粒，其包括：一腔体及一水幕产生器。腔体具有多个与外部供水装置连接的喷嘴，持续向腔体内部喷出水雾，水幕产生器套接于该腔体的气体出口，并与外部供水装置连接，其中水幕产生器具有一环形开口，以形成一覆盖气体出口的第一水幕。本发明适用于过滤由半导体厂产生的腐蚀废气，并可减少排出气体中的次微米级硅颗粒及可溶性腐蚀气体，以避免硅颗粒在半导体厂的厂务排气管中堆积，增加管路维修费用，并减少半导体厂排气口所排出的悬浮微粒，以避免其所排出的次微米悬浮微粒形成空气污染，对人体造成伤害。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 过滤 装置 | ||
【主权项】：
1、一种空气过滤装置，其与一外部供水装置及一空气管路连接，其特征在于：该装置包括：一腔体，具有一进气口、一与空气管路连接的气体出口及多个设于腔体内的与外部供水装置连接的喷嘴，其中喷嘴持续向腔体内喷出水雾；以及一水幕产生器，套接于气体出口，并与外部供水装置连接，水幕产生器内具有一环形开口，由环形开口向腔体内喷水，以形成一覆盖气体出口的第一水幕。
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