[发明专利]一种位移连续可变的静电微型机电装置无效
| 申请号： | 03157482.3 | 申请日： | 2003-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN1492569A | 公开（公告）日： | 2004-04-28 |
| 发明（设计）人： | M·W·科瓦日 | 申请（专利权）人： | 伊斯曼柯达公司 |
| 主分类号： | H02N1/00 | 分类号： | H02N1/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种位移连续可变的静电微机械装置，包括：具有第一电极的移动件；具有第二电极的相对表面；从该相对表面把移动件隔开的通道;在该通道内的液体，其中该液体具有足够大的介电常数，从而可对移动件在横跨至少通道一半的行程上的位移进行连续可变和稳定控制，该位移是在第一电极和第二电极之间施加电压的结果；以及在物理上位于第一电极和第二电极之间的至少一个固体电介质层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 位移 连续 可变 静电 微型 机电 装置 | ||
【主权项】：
1.一种位移连续可变的静电微机械装置，其包括：a)具有第一电极的移动件；b)具有第二电极的相对表面；c)从该相对表面将该移动件隔开的通道；d)在该通道内的液体，其中该液体具有足够高的介电常数，从而可对所述移动件在横跨所述通道至少一半的行程范围上的位移进行连续可变的和稳定的控制，该位移是在第一电极和第二电极之间施加电压的结果；以及e)在物理上位于第一电极和第二电极之间的至少一个固体电介质层。
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