[发明专利]双压电梁驱动的膜片气泵

摘要

本发明公开了属于精密机械中微型流体泵技术领域的一种双压电梁驱动的膜片气泵。它包含一个腔体、两个双压电梁、一个带有单向阀的膜片以及引出电极。其中双压电梁一端固支，另一端与膜片的侧边相连。泵腔内的双压电梁通入交变电压驱动膜片在谐振点振动，通过膜片上单向阀的作用，使空气沿一个方向流动，实现与外界的气体交换。这种气泵具有结构简单、输出流量大、功耗低、侧面尺寸小、无电磁噪音、可动部件少、可靠性高等诸多优点，易于推广应用。

主权项

1一种双压电梁驱动的膜片气泵，主要由一个腔体、两个双压电梁、一个带有单向阀的膜片组成；其特征在于：所述膜片(7)将泵腔分为上腔(10)、下腔(9)两部分，双压电梁(1)一端与膜片(7)的侧边相连，另一端卡入下腔(9)侧壁上的槽(8)内，并在上腔顶板(2)上设有单向阀(3)，膜片(7)上设有单向阀(6)，下腔(9)侧壁上有孔(4)；当通入交变电压时，双压电梁上下振动，并且当交变电压的频率与运动部件的固有频率相等时，双压电梁的振幅最大；当双压电梁(1)向下弯曲时，其端部推动膜片(7)向下运动，膜片(7)上的单向阀(6)关闭，下腔(9)内的气体流过芯片的需要冷却或换气的表面(5)后，从侧壁上孔(4)流出腔外，此时上腔板(2)上的单向阀(3)开启，外部的空气流入上腔(10)；当双压电梁(1向上弯曲时，其端部带动膜片(7)向上运动，膜片(7)上的单向阀(6)开启，上腔板(2)的单向阀(3)关闭，上腔(10)内的空气通过膜片(7)上的阀孔流入泵的下腔(9)内或通过在上腔(10)的侧边上的单向阀(11)流出腔外；如此循环，满足芯片冷却或微型燃料电池换气的要求。