[发明专利]飞秒倍频激光直写系统及微加工方法

摘要

一种飞秒倍频激光直写系统及微加工方法，该直写系统包括激光器、反射镜、聚焦透镜、高精度二维移动平台和计算机，其特征在于所述的激光器是钛宝石锁模激光器，在激光器和反射镜之间的光路上还设有聚焦透镜、BBO倍频晶体、聚焦透镜、滤光片，该滤光片仅让倍频光沿光路输出照射在高精度二维移动平台的待加工样品表面涂敷的光刻胶。本发明的特点是利用激光器发出的低功率飞秒倍频激光进行直写，与光刻方法相结合进行微加工，该系统不仅结构简易、成本低、性能稳定，而且光刻的边缘清晰、分辨率高。

主权项

1、一种飞秒倍频激光直写系统，包括激光器(1)、反射镜(6)、聚焦透镜(7)、高精度二维移动平台(9)和计算机(10)，其特征在于所述的激光器(1)是钛宝石锁模激光器，在激光器(1)和反射镜(6)之间的光路上还设有聚焦透镜(2)、BBO倍频晶体(3)、聚焦透镜(4)、滤光片(5)，该滤光片(5)仅让倍频光沿光路输出照射在高精度二维移动平台(9)的待加工样品(8)表面涂敷的光刻胶。