[发明专利]具动力驱动的同轴旋转快速定位系统和方法有效

专利信息
申请号: 03142951.3 申请日: 2003-06-11
公开(公告)号: CN1566971A 公开(公告)日: 2005-01-19
发明(设计)人: 黄教忠 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: G01R31/00 分类号: G01R31/00;H01L21/66;G01B5/004
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 王占梅
地址: 台湾省新竹市*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种具动力驱动的同轴旋转定位系统和定位方法。该定位系统包括一移动平台、一X轴和Y轴电动马达传动装置、一同轴旋转装置、一座标显示器和一固定显微镜。该传动系统是带动该移动平台作X轴和Y轴方向移动;该同轴旋转系统是用以承载一显示面板和对该显示面板进行座标轴对位;该座标显示器是显示该移动平台移动时的X轴和Y轴的数值和标定一标的点的座标,以便定位出该标的点;以及该固定显微镜的一十字记号,用作该同轴旋转系统调整该显示面板方位的参考座标和寻找对准到该标的点在该显示面板上相对应的一闸极线和一信号线标号。藉由该具动力驱动的同轴旋转定位系统,在进行薄膜晶体管液晶显示面板的样品分析时,提供一快速而精确的定位方法。
搜索关键词: 动力 驱动 同轴 旋转 快速 定位 系统 方法
【主权项】:
1、一种具动力驱动的同轴旋转快速定位系统,其是用来对一显示面板的一标的点进行定位,该显示面板上具有矩阵式的闸极线和信号线的标号,其特征是包括:一移动平台;一X轴和Y轴电动马达传动装置,其是连接于该移动平台,以带动该移动平台作X轴和Y轴方向的移动;一同轴旋转装置,其是设置于该移动平台上,用以承载一显示面板和对该显示面板进行座标轴对位;一座标显示器,其是连接于该移动平台,用以显示该移动平台移动时的X轴和Y轴的数值和通过该标的点在该显示面板上相对应的一闸极线和一信号线标号来标定该标的点的座标,以便定位出该标的点;以及一固定显微镜,其是设置于该移动平台的上方,在该显微镜的视野内标有一十字记号,用以作为该同轴旋转系统调整该显示面板方位的参考座标和寻找对准到该标的点在该显示面板上相对应的该闸极线和该信号线标号。
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