[发明专利]高分辨率映像装置用光刻胶无效
| 申请号： | 03138830.2 | 申请日： | 2003-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN1487361A | 公开（公告）日： | 2004-04-07 |
| 发明（设计）人： | 宋秉让;刘同生 | 申请（专利权）人： | 刘同生 |
| 主分类号： | G03F7/008 | 分类号： | G03F7/008;H01L21/027 |
| 代理公司： | 山西太原科卫专利事务所 | 代理人： | 王金锁 |
| 地址： | 030021山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高分辨率映像装置用的光刻胶，主要由透氧性感光高分子材料吡咯类化合物、酰胺类化合物、聚乙烯醇类化合物与光交联剂叠氮类化合物组成。酰胺类化合物可从异己酮酰胺、丙烯酰胺或聚丙烯酰胺中至少选取一种；吡咯类化合物可从N－甲基吡咯烷酮、乙基吡咯烷酮或聚乙烯吡咯烷酮中至少选取一种；叠氮类化合物可从双叠氮均－苯代乙烯二磺酸钠、双叠氮苯叉丙酮二磺酸钠及双甲基环乙酮二钠中至少选取一种；醇类可从正丁醇、乙二醇、丙三醇中至少选取一种。本发明有效改善了高分辨率映像装置用光刻胶的光敏性，形成的高分辨显示管的黑底图案不变形，提高了光刻胶曝光区域尺寸的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 高分辨率 映像 装置 用光 | ||
【主权项】：
1、一种高分辨率映像装置用光刻胶，其特征是：它是由下列重量配比的原料组成：去离子水 100份酰胺类化合物 2-3.2份吡咯类化合物 3.3份叠氮类化合物 1.2-2.88份醇类 2份其中，酰胺类化合物可从异己酮酰胺、丙烯酰胺或聚丙烯酰胺中至少选取一种；吡咯类化合物可从N-甲基吡咯烷酮、乙基吡咯烷酮或聚乙烯吡咯烷酮中至少选取一种；叠氮类化合物可从双叠氮均-苯代乙烯二磺酸钠、双叠氮苯叉丙酮二磺酸钠及双甲基环乙酮二钠中至少选取一种；醇类可从正丁醇、乙二醇、丙三醇中至少选取一种；高分辨率映像装置用光刻胶的制备方法：上述材料按顺序加入容器中，充分搅拌、溶解即成。
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