[发明专利]含氮氟化物气体的净化剂及净化方法有效
| 申请号： | 03137362.3 | 申请日： | 2003-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN1468646A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 大塚健二;名和洋二 | 申请（专利权）人： | 日本派欧尼株式会社 |
| 主分类号： | B01D53/68 | 分类号： | B01D53/68;B01J20/06;B01J23/14;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供含有氮氟化物的气体的净化剂及净化方法，在净化剂中，作为有效成份含有氧化亚锡，以及从碱土类金属的氧化物、氢氧化物、碳酸盐、镧系元素的氧化物、氢氧化物、碳酸盐中选出的1种以上的化合物，在净化方法中，使含有氮氟化物的气体在加热下与上述净化剂接触而进行净化。该净化剂可容易地进行其保存、使用，在净化中不发生由于稀释气体的种类引起热击穿、或者在净化后的后处理中的剧烈的放热和有害气体的生成等，另外，在净化中，在净化筒内不会发生压力损失的增加或者闭塞，进而，不排出NOx，可高效地净化含有氮氟化物的气体。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化物 气体 净化剂 净化 方法 | ||
【主权项】：
1.含有氮氟化物的气体的净化剂，其特征是作为有效成份，含有氧化亚锡，以及从碱土类金属的氧化物、氢氧化物、碳酸盐、镧系元素的氧化物、氢氧化物、碳酸盐中选出的1种以上的化合物。
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