[发明专利]光敏膏无效
| 申请号： | 03107913.X | 申请日： | 2003-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN1448792A | 公开（公告）日： | 2003-10-15 |
| 发明（设计）人： | 矢作公 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/004;G03F7/00;H01J17/49;G09F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 程金山 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种能够生产出在焙烧工序前后图案尺寸变化很小的隔墙的光敏膏。用包括碱溶性聚有机硅氧烷树脂组合物、无机颗粒和感光性化合物的光敏膏可以达到这一目的。 | ||
| 搜索关键词： | 光敏 | ||
【主权项】：
1、一种光敏膏，其包括碱溶性聚有机硅氧烷树脂组合物、无机颗粒和感光性化合物。
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