[发明专利]加装震动装置的流体传输系统无效
| 申请号： | 03107211.9 | 申请日： | 2003-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN1530585A | 公开（公告）日： | 2004-09-22 |
| 发明（设计）人： | 巫信东 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/08 | 分类号： | F17D1/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陈小霁;肖鹂 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种加装震动装置的流体传输系统，其包括有一传输管线、一进料口、一进水口、至少一震动装置及多个缓冲器。其中当该系统进行一高粘度流体的传输时，该震动装置提供适当程度的震动效果以防止该高粘度流体附着于该传输管线的内壁而阻塞传输管线，同时该各缓冲器用以使震动能量不致并衰减，并避免该传输管线的震动影响其他设置的运作。 | ||
| 搜索关键词： | 震动 装置 流体 传输 系统 | ||
【主权项】：
1.一种加装运动装置的研磨液传输系统，包括有：一传输管线，用以接收并输送一研磨液进料；至少一进料口，设置于该传输管线上，用以注入该研磨液进料；至少一进水口，设置于该传输管线上，用以提供该研磨液进料适当的流动性；至少一震动装置，安装于该传输管线上，用以提供该传输管线适当程度震动效果；以及多个缓冲器(cushion)，位于该传输管线底部，用以支撑该传输管线；其中在该研磨液传输过程中，该震动装置提供该传输管线适当程度的震动效果，以使该研磨液进料不致附着于该传输管线的内壁，同时该各缓冲器用以使震动能量不至衰减，并避免该传输管线的震动影响其他设备的运作。
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