[发明专利]平行振动式微型电场传感器有效
| 申请号： | 03106433.7 | 申请日： | 2003-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN1525181A | 公开（公告）日： | 2004-09-01 |
| 发明（设计）人： | 夏善红;白强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 戎志敏 |
| 地址： | 100080*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种平行振动式微型电场传感器，包括激振部分1和感应部分2；感应部分2由屏蔽电极3和感应电极4构成；屏蔽电极3上面有栅孔5。在激振驱动力的作用下，屏蔽电极3与感应电极4发生周期性平行相对运动。与竖直振动式电场传感器相比，本传感器振动时空气阻尼小，激振驱动方式灵活，有利于减少激振信号与感应信号间的电干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 平行 振动 式微 电场 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种平行振动式微型电场传感器，包括：激振部分(1)，产生平行驱动力；感应部分(2)，输出平行振动力。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院电子学研究所，未经中国科学院电子学研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03106433.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
