[发明专利]用于高分子材料进行等离子体表面改性的装置和方法

摘要

本发明涉及冷等离子体对高分子材料进行表面改性的装置和方法，该装置包括：电极、一带底盘的园筒，其一端固定密封门的反应室壳体，壳体上设有放气、抽气、进气口、真空测量接口，真空泵通过管道与抽气口密封连接；真空测量接口通过真空与真空测量部件连接；两个动态真空密封接头焊接在圆筒的底盘上，传动轴与密封接头动态联接，并与一外接转速控制部件连接；在反应室内壁上对称设置内电极、电源导电柱、电场强度调节件、绝缘板和绝缘柱等，导电柱与电极联接；绝缘柱将绝缘板和电场强度调节件固定在反应室内壁与内电极之间。本发明应用电容式耦合辉光放电产生的冷等离子体对高分子材料进行表面改性的方法，能批量地处理工件和处理大体积的工件。

主权项

1.一种用于高分子材料进行等离子体表面改性的方法，包括以下步骤：(1)打开反应室的密封门，放入待处理的工件，关闭密封门；(2)然后启动真空泵，对反应室抽真空并预热射频电源，当反应室内的本底真空达到1-50Pa后，打开工作气体充气阀门，对反应室充气到10Pa-500Pa；(3)启动射频电源，并调节电源功率达100W——10kW时，反应室内起辉，表明等离子体已经产生，开始对工件进行等离子体处理，处理时间可根据不同样品来设定，从5秒-30分钟；(4)完成上述操作之后，关闭射频电源开关，关闭充气阀门，打开放气阀门，直到反应室内处于大气状态时，打开密封门，取出工件。