[发明专利]低电压低功率热气泡薄膜式微流体驱动装置无效
| 申请号： | 03103124.2 | 申请日： | 2003-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN1521500A | 公开（公告）日： | 2004-08-18 |
| 发明（设计）人： | 庄世玮;钟震桂;陈仲竹 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26;G01N27/416;G01N35/00;C12Q1/68 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英;潘培坤 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低电压低功率热气泡薄膜式微流体驱动装置，是结合流体结构和热气泡薄膜式致动器；流体结构包含流体通道，流体填注于流体通道当中并经由流体通道的开口进出，以及，热气泡薄膜式致动器是在弹性薄膜所形成的密闭液室底部设置加热片所组成，密闭液室是通过弹性薄膜隔离于流体通道并填充有低沸点液体；其动作方式为利用加热片加热低沸点液体以产生气泡，推动弹性薄膜以类似横隔膜的方式运动来驱动流体。 | ||
| 搜索关键词： | 压低 功率 气泡 薄膜 式微 流体 驱动 装置 | ||
【主权项】：
1、一种低电压低功率热气泡薄膜式微流体驱动装置，其特征在于该驱动装置包含有：一流体结构，具有一流体通道及连接于该流体通道的一流体开口，流体填注于该流体通道当中并经由该流体开口进出；及一个以上的热气泡薄膜式致动器，该热气泡薄膜式致动器由一弹性薄膜所形成的一密闭液室底部设置一加热片所组成，该密闭液室是通过该弹性薄膜隔离于该流体通道并填充有一低沸点液体，该加热片是用以加热该低沸点液体以产生气泡对该弹性薄膜产生压迫与放松的动作，使该密闭液室的体积膨胀和收缩以驱动该流体通道内的流体。
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