[发明专利]用于微型平板印刷术的多环含氟聚合物及光刻胶无效
| 申请号： | 02807763.6 | 申请日： | 2002-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN1500099A | 公开（公告）日： | 2004-05-26 |
| 发明（设计）人： | A·E·费林;F·L·沙德特三世 | 申请（专利权）人： | 纳幕尔杜邦公司 |
| 主分类号： | C08F232/08 | 分类号： | C08F232/08;G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邰红;马崇德 |
| 地址： | 美国特拉华*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了用于极远、远和近紫外微型平板印刷术的多环含氟聚合物和光刻胶及相关方法。多环含氟聚合物衍生自包含降冰片二烯与氟代烯烃的多环反应产物的重复单元。聚合物还包含衍生自一种或多种其它单体的重复单元，其它单体为例如氟代烯烃，特别是四氟乙烯，氟代醇或丙烯酸酯。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微型 平板 印刷术 多环含氟 聚合物 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种含氟聚合物，它包括衍生自至少一种结构1的烯键式不饱和多环化合物的重复单元：![]()
其中：R1-R8相同或不同并且各自代表氢原子、卤原子、羧基基团、含有1-20个碳原子的烃基团或含有1-20个碳原子和至少一个氧、硫或氮原子的取代烃基团；并且m为0、1或2。
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