[发明专利]用于在集成光学部件中削尖波导Y分支的角的制造方法有效
| 申请号： | 02807043.7 | 申请日： | 2002-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN1650205A | 公开（公告）日： | 2005-08-03 |
| 发明（设计）人： | X·王;F·莱昂 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | G02B6/125 | 分类号： | G02B6/125;G02B6/136;G02B6/132 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京;章社杲 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 制造用于集成光学器件、光子晶体器件或用于微型器件中的光波导的基本尖的角的方法。首先使用光刻图案化和垂直蚀刻形成诸如圆角(28)等的非尖角。接着，使用各向同性蚀刻削尖该圆角。可使用监控器确定圆角(28)是否通过各向同性蚀刻充分削尖。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 集成 光学 部件 削尖 波导 分支 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种方法，包括：在一材料上光刻图案化出角；基于所述光刻图案有选择地去除所述材料的部分，以获得确定所述角的区域；以及进一步去除邻近所述区域的所述材料的部分，以削尖所述角。
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