[发明专利]超声波检测装置、超声波换能器、检测装置、超声波成像装置有效
申请号: | 02802634.9 | 申请日: | 2002-11-14 |
公开(公告)号: | CN1492999A | 公开(公告)日: | 2004-04-28 |
发明(设计)人: | 唐泽博一;中本正幸;落合诚;福田胜义;平泽泰治;池田贤弘 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | G01N29/24 | 分类号: | G01N29/24 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 黄剑锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种可简单、便捷地检测、可高分辨率、高速处理的超声波检测装置、超声波换能器、检测装置、超声波成像装置。在构成超声波换能器的压电体中使用钛酸钯(BaTiO3)或钛锆酸铅(PZT),厚度为0.1μm~100μm。具有:能驱动压电体层中的任意压电体层的驱动部、通过从被驱动的压电体层产生的超声波照射的对象来的回波检测多个压电体层产生的电信号的检测部、从检测出的电信号对照射对象的状态进行可视化处理的处理部。 | ||
搜索关键词: | 超声波 检测 装置 换能器 成像 | ||
【主权项】:
1.一种超声波检测装置,其特征在于,具有:超声波换能器,其具有衬底、在上述衬底上形成的共用电极、在上述共用电极上成矩阵状独立形成多个的压电体层、及分别在上述压电体层上形成的多个上部电极;驱动部,其与上述上部电极连接,从上述上部电极驱动上述压电体层中的任意一个;检测部,其与上述上部电极连接,通过来自上述被驱动的压电体层发生的超声波照射的照射对象的回波,从上述多个上部电极检测上述多个压电体层发生的电信号;和处理部,其从上述检测出的电信号,对上述照射对象的状态进行可视化处理;上述超声波换能器的上述压电体层具有钛酸钡或锆钛酸铅,且厚度为0.1μm~100μm。
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