[实用新型]内藏离子泵式扫描装置无效
| 申请号： | 02294955.0 | 申请日： | 2002-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN2590132Y | 公开（公告）日： | 2003-12-03 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G21K5/00 | 分类号： | G21K5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100083 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种内藏离子泵式扫描装置，属于辐射加工技术领域。它包括电子直线加速器、扫描电磁铁及扫描盒。其结构特点是，扫描盒为矩形结构，立式或卧式放置。扫描盒内上端设置装有离子泵的阳极小筒的固定盒及与固定盒衔接的阴极钛板。扫描盒的外壁上、与固定盒的对应位置前后设有离子泵的磁铁，各磁铁用环绕一周的磁轭固定。在扫描盒内、离子泵与电子束流边界之间设有与扫描盒内侧壁连接的磁场屏蔽板。本实用新型同现有技术相比，不仅优化了真空系统结构、减少了真空流阻损失，可使离子泵抽速发挥最大的工作效率，同时利于扫描装置的自屏蔽化和小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 内藏 离子 扫描 装置 | ||
【主权项】：
1.一种内藏离子泵式扫描装置，它包括电子直线加速器(1)、扫描电磁铁(3)及扫描盒(11)，扫描盒(11)的顶部连接有可与加速器(1)固定的法兰盘(2)及环绕在外壁的扫描电磁铁(3)，离子泵的阳极高压引线(9)由绝缘子(10)引入扫描盒(11)内，扫描盒(11)的底部为用40～60μm钛箔材料构成的引出窗(13)，钛箔材料紧固在与扫描盒(11)底部连接的法兰盘(12)上，其特征在于：所述扫描盒(11)为矩形立式放置，扫描盒(11)内上端两肩处对称设置装有离子泵的阳极小筒(8)的固定盒(6)及与固定盒(6)衔接的阴极钛板(17)，扫描盒(11)的外壁上、与各固定盒(6)的对应位置前后均设有离子泵的磁铁(18)，各磁铁(18)用环绕一周的磁轭(7)固定，在扫描盒(11)内、离子泵与电子束流(14)边界之间设有与扫描盒(11)内侧壁连接的磁场屏蔽板(15)。
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