[实用新型]外差干涉仪的激光方位调整装置

摘要

本实用新型涉及一种用于测量微细形貌的共光路外差干涉仪的激光方位调整装置。本实用新型的技术解决方案是，在外差干涉仪的干涉头上加装精密转台和两个近似半圆的夹持激光管的楔形块，两个楔形块合成一个楔形筒，其楔形筒的小的一端装入转台的中心孔中。本实用新型的精密转台有效地扩大了激光管的转动范围，提高了转动精度，而且调整方便快捷，由于采用了楔形块夹持激光管，所以使得激光管与精密转台同轴，保证了激光管出射光束的中心和转台的转动中心重合，楔形筒选用软制材料制成不会损坏激光管。该调节系统的调节精度完全能够满足使干涉系统测量精度达到nm量级的要求。

主权项

1.一种由干涉系统，倒置的望远系统，反射镜，棱镜，聚焦物镜，光电接收器和比相计等组成的外差干涉仪的激光方位调整装置，其特征是，在干涉系统外壳的基底上安装旋转台，旋转台的中心孔中安装两个内表面为圆柱面、外表面为一端大一端小的锥形柱面半圆筒楔形块，两个半圆筒楔形块夹持激光器，锥形柱面小的一端装入旋转台的中心孔。