[实用新型]高速离心式功能材料成膜装置无效
| 申请号： | 02245793.3 | 申请日： | 2002-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN2559654Y | 公开（公告）日： | 2003-07-09 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/44 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 050031 河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高速离心式功能材料成膜装置，它包括成膜基板及成膜材料发射源，所述成膜基板为圆筒状，固定在旋转筒内筒壁上，旋转筒与电机连接，成膜材料发射源置于旋转筒内。它由电机带动旋转筒和成膜基板一起高速旋转，使成膜材料产生离心力，而快速沉积在成膜基板而成膜，它具有成膜速度快、质量好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 高速 离心 功能 材料 装置 | ||
【主权项】：
1、高速离心式功能材料成膜装置，它包括成膜基板及成膜材料发射源，其特征在于：所述成膜基板为圆筒状，固定在旋转筒内筒壁上，旋转筒与电机连接，成膜材料发射源置于旋转筒内。
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