[实用新型]用于晶体生长工艺中的籽晶方位的控制装置无效
| 申请号： | 02244311.8 | 申请日： | 2002-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN2556210Y | 公开（公告）日： | 2003-06-18 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，包括籽晶杆，籽晶杆用于固定籽晶；其中还包括：一X－Y二维位移调节装置；一Z轴倾角调节装置；及所述的X－Y二维位移调节装置的任一端与所述的Z轴倾角调节装置相连，构成X、Y、Z方位调节装置，该方位调节装置的任一端与籽晶杆相连，另一端与晶体生长设备的轴杆相连；本实用新型既可以调节籽晶的中心位置又可以调节其倾角，并且操作方便、可靠、省时和重复性好、设计小巧，即使在浮区单晶炉直径为φ20的狭小空间中也能正常使用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 晶体生长 工艺 中的 籽晶 方位 控制 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，包括籽晶杆，籽晶杆用于固定籽晶；其特征在于还包括：-一X-Y二维位移调节装置；-一Z轴倾角调节装置；及所述的X-Y二维位移调节装置的任一端与所述的Z轴倾角调节装置相连，构成X、Y、Z方位调节装置，该方位调节装置的任一端与籽晶杆相连，另一端与晶体生长设备的轴杆相连。
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