[实用新型]水凝胶致动式微型泵

摘要

一种水凝胶致动式微型泵，是利用水凝胶胀缩效果所产生的体积变化致动微型泵的隔膜，而达到驱动流体腔室内流体的效果。包含：二流体腔室；及一流体腔室通道；及第一层板及第二层板；在所设容置空间底面各设一电极；及一中间层板，系以矽晶片利用体型微机械加工制程所制做，在靠近二端各设一腔室空间；其中间层板置于第一层板及第二层板之间并组合成微型泵本体；各层板之间并以隔膜分隔，分别形成水凝胶体及电泳液的容置空间、电泳液通道、流体腔室及流体腔室通道；第一层板对应于流体腔室开孔处设有一通孔，可供液体进出。提供了一种低操作电压、低耗电的微型泵，并增进其可携性、安全性与系统整合性。

主权项

1、一种水凝胶致动式微型泵，其特征在于，包含有：二流体腔室；及一流体腔室通道，连通该二流体腔室；及第一层板及第二层板，是在对应于该流体腔室处各设一容置空间，该二容置空间之间形成高度略为向内陷缩的鞍部，并于该容置空间的底面各设一电极；及一中间层板，置于该第一层板及该第二层板之间，在靠近二端各设一腔室空间，该二腔室空间之间形成一分隔；及其中该中间层板置于第一层板及第二层板之间并组合成微型泵本体，各层板之间并以隔膜分隔，该隔膜与第一层板第二层板及结构材之间形成一容置空间，该隔膜与第一层板及第二层板的鞍部之间形成电泳液通道，该隔膜与中间层板之间形成流体腔室，该隔膜与中间层板的分隔形成流体腔室通道，该第一层板对应于该流体腔室开孔处设有一通孔，可供流体进出。