[实用新型]单晶炉的多管式结构无效
| 申请号： | 02206661.6 | 申请日： | 2002-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN2528782Y | 公开（公告）日： | 2003-01-01 |
| 发明（设计）人： | 白玉珂 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型一种单晶炉的多管式结构，包括一炉子内壁，为圆筒状，上下两端为贯通；一反应杯托架，为圆柱形，该反应杯托架的纵向开有多个概呈梯形的圆孔，该梯形的圆孔的底端为封闭状；一反应杯，为薄的透明体，其形状与反应杯托架上的梯形的圆孔相同并容置在其内；一升降轴，一端为杯状，另一端为一轴体，杯状的一端容置有反应杯托架的一端；多个坩埚，概呈梯形，该坩埚外部的形状与反应杯托架上开有的概呈梯形的圆孔相似，其长度短于梯形的圆孔，其直径小于梯形的圆孔，且该坩埚容置在反应杯托架上开有的概呈梯形的圆孔内的反应杯内。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 多管式 结构 | ||
【主权项】：
1、一种单晶炉的多管式结构，其特征在于，包括：一炉子内壁，为圆筒状，上下两端为贯通；一反应杯托架，为圆柱形，该反应杯托架的纵向开有多个概呈梯形的圆孔，该梯形的圆孔的底端为封闭状；一反应杯，为薄的透明体，其形状与反应杯托架上的梯形的圆孔相同并容置在其内；一升降轴，一端为杯状，另一端为一轴体，杯状的一端容置有反应杯托架的一端；多个坩埚，概呈梯形，该坩埚外部的形状与反应杯托架上开有的概呈梯形的圆孔相似，其长度短于梯形的圆孔，其直径小于梯形的圆孔，且该坩埚容置在反应杯托架上开有的概呈梯形的圆孔内的反应杯内。
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