[发明专利]基于离子交换的脊形光波导器件的制作方法

摘要

本发明公开了一种基于离子交换的脊形光波导器件的制作方法，(1)将整片制作波导的基底材料放入熔融的硝酸钾熔液中进行离子交换，已能形成波导为判断标准，最终得到平板波导；(2)用预先设计好的掩模版进行光刻，然后在做好光刻的基底上蒸发一层金属Cr或Ni，蒸发完成后进行剥离，使得基底上的金属图形为预先设计图形，然后进行干法刻蚀，得到脊形波导。本发明与硅基二氧化硅波导相比，由于采用离子交换方法制作波导，不需要薄膜沉积，成本更低，工艺更简单；和传统扩散波导相比，由于采用了刻蚀的脊形波导，对光的限制更好。特别是制作的器件要求有空气槽或者反射面时，本方法更为简便。

主权项

1.基于离子交换的脊形光波导器件的制作方法，其特征在于它包括如下两个工艺步骤：1)将整片制作波导的基底材料放入熔融的硝酸钾熔液中进行离子交换，离子交换的温度大于硝酸钾的熔点330℃而小于基底的熔化温度，扩散时间为5~10小时，已能形成波导为判断标准，最终得到平板波导；2)对做好的平板波导进行离子束刻蚀，刻蚀过程如下：用预先设计好的掩模版进行光刻，光刻胶采用剥离胶；然后在做好光刻的基底上蒸发一层金属Cr或Ni；用丙酮去胶进行剥离，使得基底上的Cr或Ni金属图形为预先设计图形；干法刻蚀，采用反应离子刻蚀或感应耦合离子刻蚀方法，得到脊形波导。