[发明专利]节料型原子束发生器

摘要

节料型原子束发生器主要由坩埚，坩埚内芯，内外加热体的双加热坩埚炉，以及炉底板，隔热套，真空腔体等部分组成。原子束通过坩埚内芯和坩埚二个喷射口喷入真空腔内，由坩埚内芯喷射出的大部分原子因发散角较大，未能通过坩埚第二个喷射口喷出，而沿坩埚内壁流下被回收循环使用。因而不仅节约了大量原子材料，而且在坩埚一次装料相同情况下，连续喷射时间拉长，大大提高了工作效率。

主权项

1、节料型原子束发生器，包括真空腔体(8)及真空腔(9)，其特点在于：还包括内外双加热坩埚炉，该包括内外双加热坩埚炉由坩埚(4)、内加热体(6)、外加热体(5)，坩埚盖(16)和坩埚内芯(14)，在坩埚(4)外壁装有外加热体(5)，并开有刀口形喷射孔(12)，坩埚盖(16)紧盖在坩埚(4)上，坩埚(4)内还装有坩埚内芯(14)，在坩埚内芯(14)的上部开有与坩埚(4)上喷射孔(12)对齐的刀口形喷射孔(17)，下部开有让液体材料流入的孔(20)，在坩埚内芯(14)外壁紧套有内加热体(6)，并在对应坩埚内芯(14)上部喷射孔(12)位置留出孔，坩埚内芯(14)中间装有若干根带有小毛细内孔耐高温管(21)，在其上部还装有带倾角的反射板(15)。