[发明专利]用于生产线的管理系统和管理方法有效

专利信息
申请号: 02148132.6 申请日: 2002-10-30
公开(公告)号: CN1417725A 公开(公告)日: 2003-05-14
发明(设计)人: 山崎舜平 申请(专利权)人: 株式会社半导体能源研究所
主分类号: G06F17/60 分类号: G06F17/60
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 吴立明,梁永
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明用于构造一个CIM系统,该系统能够减轻计算机主机的负担,并且能够由基片单元通知加工条件以及由基片单元通知工作的一条启动指令。本发明中,在每个生产装置里而不是在一个计算机主机里,对应用于每个基片的一个加工工艺进行管理。一个或多个被编号的加工工艺被存储在每个生产装置中。通过上述结构,即使对一个加工工艺的制定和一个生产装置工作的一条指令通过基片单元而不是通过载体单元来管理,也由于没有必要在该计算机主机中处理用于每个基片的一个加工方法的具体内容,从而可以减轻该计算机主机的负担。
搜索关键词: 用于 生产线 管理 系统 方法
【主权项】:
1.一种用于生产线的管理系统,包含:其内部提供有存储装置和存储有多个基片的载体;一个生产装置;以及一台计算机主机,其中存储于所述载体里的所述多个基片中的每一个基片的标识信息以及所述多个基片中的每一个基片的一个批序号被存储在所述存储装置里,其中所述生产装置包含用于读取所述多个基片中的每一个基片的所述标识信息以及在所述存储装置里所述多个基片中的每一个基片的所述批序号的第一装置,用于把由所述第一装置读出的,所述多个基片中的每一个基片的标识信息以及所述多个基片中的每一个基片的所述批序号等以及所述生产装置的标识信息送到所述计算机主机的第二装置,其内部存储有多个加工工艺的第一存储器,以及把加工处理应用于所述多个基片中的每一个基片的第三装置,其中所述计算机主机包含第二存储器,第二存储器中保存有每个批次的加工工艺序号,以及包含第四装置,第4装置可以根据每个所述基片的标识,以及基于由所述生产装置发送的信息,读取每个保存在所述第二存储器中的基片所对应的加工工艺序号,以及读取所述大量基片中每个基片所在批次的序号,以及所述生产装置的标识信息,这些信息从生产装置中发送出去,并把所述加工工艺序号发送到所述第一生产装置中,以及其中所述生产装置从存储于所述第一存储器中的所述多个加工方法里读出相应于所述计算机主机发送的所述加工方法序号的一个加工方法,以及在所述第二装置中把所述被读出的加工方法发送到所述第三装置,并且在所述第三装置中根据所发送的加工方法加工所述大量基片中的每个基片。
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