[发明专利]薄膜压电体元件和其制造方法以及使用该元件的致动器装置无效
| 申请号： | 02146999.7 | 申请日： | 2002-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1420497A | 公开（公告）日： | 2003-05-28 |
| 发明（设计）人： | 内山博一 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G11B21/21 | 分类号： | G11B21/21 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 通过在元件形成衬底7的一侧面上形成多个薄膜压电体元件8，在包含这些薄膜压电体元件8的元件形成衬底7的一侧面上覆盖由树脂构成的元件保持膜20后，通过去除形成薄膜压电体元件8的区域的元件形成衬底7，由元件保持膜20保持薄膜压电体元件8，并单个或以规定单位分离元件保持膜25保持的薄膜压电体元件8的方法，仅通过元件保持膜和设置在周围的框结构来将薄膜加工形成的薄膜压电体元件保持在衬底上，改善包含到安装工序的批量生产性。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 压电 元件 制造 方法 以及 使用 致动器 装置 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜压电体元件的制造方法，包括以下工序：a)在元件形成衬底上形成顺序层叠第一电极膜、压电体薄膜和第二电极膜的平板状层叠体或使上述层叠体的上述第二电极膜彼此相对后进行层叠的双层层叠体，在上述元件形成衬底一侧面上形成设置将上述第一电极膜和上述第二电极膜电连接到外部设备上用的连接电极膜而构成的多个薄膜压电体元件，b)通过包含上述薄膜压电体元件，在上述元件形成衬底的上述一侧面上覆盖由树脂构成的元件保持膜，去除形成上述薄膜压电体元件的区域的上述元件形成衬底，用上述元件保持膜来保持上述薄膜压电体元件，c)个别或按规定单位分离上述元件保持膜保持的上述薄膜压电体元件。
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