[发明专利]投影光学系统，曝光装置以及设备的制造方法无效
| 申请号： | 02146669.6 | 申请日： | 2002-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN1417610A | 公开（公告）日： | 2003-05-14 |
| 发明（设计）人： | 重松幸二;工藤慎太郎 | 申请（专利权）人： | 尼康株式会社 |
| 主分类号： | G02B13/18 | 分类号： | G02B13/18;G02B13/22;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种投影光学系统，它虽然采用两侧远心的结构，但能够抑制由于所使用的玻璃材料的吸收引起的成像性能的恶化，且保证大数值孔径和宽大的曝光区域，而且，对于各像差能够很好地进行补正。在将第1物体的图形投影在第2物体上的投影光学系统中，上述投影光学系统的特征是具有包括折射率在1.57以上的玻璃材料的多种玻璃材料，而构成上述投影光学系统中最靠近成像侧的负透镜，如果将该最靠近成像侧的负透镜的焦点距离设为f，将上述第1物体到第2物体的距离设为L，将上述最靠近成像侧的负透镜的折射率设为n，满足条件式|f/L|＜0.25、n≤1.55。上述投影光学系统内至少具有一个面的非球面(ASP1～ASP4)。 | ||
| 搜索关键词： | 投影 光学系统 曝光 装置 以及 设备 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.将第1物体的图形投影在第2物体上的投影光学系统，其特征是：该投影光学系统至少具有一个面的非球面，具有多种玻璃材料，该多种玻璃材料包括折射率在1.57以上的玻璃材料，而构成上述投影光学系统的透镜中最靠近成像侧的负透镜，满足下列条件式：|f/L|＜0.25n≤1.55其中，f为上述最靠近成像侧的负透镜的焦点距离，L为上述第1物体到第2物体的距离，n为上述最靠近成像侧的负透镜的折射率。
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