[发明专利]大功率微波等离子体炬

摘要

本发明涉及一种大功率微波等离子体炬，包括可调谐同轴谐振腔、矩形波导，所述矩形波导内设波导/同轴转换装置，所述波导/同轴转换装置为门扭块和介质单线上下扣合的门扭结构，所述波导/同轴转换装置分别与矩形波导上下表面紧密接触连接，所述可调谐同轴谐振腔由位于波导上下两侧并与波导/同轴转换装置同轴的上腔、下腔，以及波导/同轴转换装置共同构成，内导体一端插装于下腔，另一端依次贯穿介质单线、门扭块、上腔，上腔的内外导体之间沿轴线方向设有谐振腔短路活塞，所述矩形波导一端设有微波源，另一端设有波导短路活塞。本发明解决了激发维持机构复杂、调节不方便、功率水平低等问题，可应用于气相化学反应、材料的合成和加工等。

主权项

1.一种大功率微波等离子体炬，其特征在于：包括可调谐同轴谐振腔(1)、矩形波导(2)，所述矩形波导(2)内设波导/同轴转换装置(12)，所述波导/同轴转换装置(12)为门扭块(121)和介质单线(122)上下扣合的门扭结构，所述波导/同轴转换装置(12)分别与矩形波导(2)上下表面紧密接触连接，所述可调谐同轴谐振腔(1)由位于波导(2)上下两侧并与波导/同轴转换装置(12)同轴的上腔(11)、下腔(15)，以及波导/同轴转换装置(12)共同构成，上、下腔为外导体(13)和内导体(14)构成的同轴线，内导体(14)一端插装于下腔(15)，另一端依次贯穿介质单线(122)、门扭块(121)、上腔(11)，上腔(11)的内外导体之间沿轴线方向设有谐振腔短路活塞(111)，所述矩形波导(2)一端设有微波源，另一端设有波导短路活塞(21)。