[发明专利]一种类金刚石复合扬声器振膜的制备方法无效
| 申请号： | 02134493.0 | 申请日： | 2002-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN1402589A | 公开（公告）日： | 2003-03-12 |
| 发明（设计）人： | 袁镇海;林松盛;侯惠君;李似聪;朱霞高 | 申请（专利权）人： | 广州有色金属研究院 |
| 主分类号： | H04R7/06 | 分类号： | H04R7/06;C23C14/06 |
| 代理公司： | 广东世纪专利事务所 | 代理人： | 刘卉 |
| 地址： | 5106*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明是一种类金刚石复合扬声器振膜的制备方法。本发明采用真空阴极电弧源，使用石墨作阴极靶，运用真空阴极石墨电弧产生的碳等离子体，在被镀振膜上沉积类金刚石膜层。可以批量生产性能优异的各种形状规格的类金刚石复合扬声器振膜。它提高了扬声器的频响特性，改善了音质。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 金刚石 复合 扬声器 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种类金刚石复合扬声器振膜的制备方法，其特征在于：①将被沉积的振膜经超声清洗后安装在辅助工夹具内固定，悬挂于公-自转工件架上；②抽真空至1×10-3Pa后，设定预加热温度为50～300℃，通氩气，起动钛靶电弧，在偏压0～1000V，工作气体压力为1×100～1×10-2Pa下，进行离子轰击清洗1～10分钟；③随后通入氩气、氢气或二者的混合气体，在偏压50～300V，气压1×100～1×10-2Pa下，起动钛和石墨阴极电弧，沉积钛、碳化钛过渡层5～15分钟；④再在弧流30～100A，弧压20～40V，偏压50～300V，在上述气体和气压条件下，只引燃石墨电弧，产生碳等离子体，沉积含sp3金刚石结构的类金刚石膜层30～60分钟。
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